台积电面板级封装技术的产业化进程正加速推进。据台湾电子时报6月18日报道,台积电CoPoS(Chip-on-Panel-on-Substrate)首批设备测试样机已进驻旗下子公司采钰科技(Visera)厂房,首条试产线已正式启动,标志着玻璃基板封装技术从研发验证迈入工程试产新阶段。
台积电已于近期确认首批CoPoS设备供应链评估名单,从玻璃基板处理、光阻涂布、曝光、镀铜、研磨、贴片、模封、检测到最终分选,各环节设备厂已全面卡位,陆续进入验证与认证阶段:
曝光与涂布设备:佳能(Canon)、德国SUSS、日本TEL、SCREEN相关产品已完成导入;
镀铜设备:应用材料、科磊、力鼎精密进入名单;
基板研磨与激光加工:日本DISCO几乎拿下全部相关设备订单,日东电工(Nitto)、琳得科(LINTEC)等亦有产品导入;
塑封设备:日本TOWA、YAMADA均已进入供应链名单。
供应链透露,首批CoPoS设备供应链名单多延续自CoWoS时期,但由于CoPoS研发难度大增,验证进程不及预期。设备厂必须先提出技术资料与实验数据,经台积电评估后,再将产品运至厂房测试。
在此背景下,新晋供应商获得CoPoS测试样机订单机会:泛林集团(LamResearch)将提供镀铜设备及UBM蚀刻设备;倍利科(Beilike)进入光学检测与量测环节;辛耘获得湿制程设备相关订单。
从测试周期看,CoPoS设备从交付到完成验证约需3个月,但后续客户端验证与量产认证时间更长——从开始验证到最终取得正式采购资格,通常约需1年半。业内人士指出,目前多数CoPoS设备厂仍停留在1至2台测试样机阶段,距离放量仍有距离。
TrendForce指出,台积电目前聚焦CoPoS,并锁定310×310毫米基板尺寸,预计2026年为关键验证期,2027年进入试产,2028下半年正式量产。
台积电董事长魏哲家此前在股东会上表态,CoPoS试产线已建成,预计2至3年产量才能达到相当规模。CoPoS技术的核心变革在于采用方形玻璃基板取代传统CoWoS的圆形硅中介层,面积利用率可从约45%跃升至81%,未来扩展到超大尺寸面板时,单次产出相当于12英寸晶圆的4至8倍。