国产晶圆机器人再添新军：翼菲科技推出Lobster系列

在半导体产业链国产化替代的关键节点上，国产晶圆搬运机器人再添新军。近日，翼菲科技（06871.HK）正式推出Lobster系列晶圆机器人，覆盖4英寸、6英寸、8英寸、12英寸全尺寸晶圆传输场景，可广泛应用于晶圆上下料、工艺设备对接、洁净搬运等核心制程环节。

半导体制造对精度、洁净度、稳定性和可靠性要求极为苛刻。晶圆搬运作为贯穿制程的基础环节，任何微小的振动、定位偏差或颗粒污染，都可能直接导致晶圆破损、工艺失效乃至良率滑坡。面向这一核心需求，翼菲科技基于自研高端运动控制系统与精密机械结构，搭载多种末端执行方案（范德华力吸盘、边缘夹持等），实现0.1mm级高精度定位，可灵活适配不同尺寸、不同材质和不同工艺要求，有效降低晶圆污染、划伤和破片风险。

更为关键的是，翼菲科技晶圆机器人已通过德国TÜV莱茵SEMIS2/S8/F47国际权威认证，其中RW-A型号达到ISO1级超洁净度标准，在安全性、人体工程学、电压暂降适应性和洁净性能等方面跻身国际一流水平。

商业化层面，翼菲科技的半导体自动化装备已进入多家头部客户体系。目前，其产品已服务于中芯国际等头部晶圆厂，并进入至纯科技等产业链核心客户。在设备端，公司为芯源微供应寻边器、为邑文配套ALD倒片机、向比亚迪交付晶圆机械手、为迈为提供EFEM设备，上述合作客户均已形成稳定复购，产品覆盖晶圆搬运、上下料、洁净检测、光刻配套等多个应用场景。